金融界2025年1月30日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市章阁仪器有限公司申请一项名为“喷涂装置及涂布显影设备”的专利，公开号CN119376196A，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本申请属于半导体制造设备技术领域，具体涉及一种喷涂装置及涂布显影设备，喷涂装置包括显影喷嘴组件和吹扫组件，显影喷嘴组件包括显影喷嘴，显影喷嘴具有进液端口和喷液端口，进液端口用于通入显影液，喷液端口用于喷出显影液，吹扫组件包括气体喷嘴，气体喷嘴设置在显影喷嘴宽度方向的一侧，气体喷嘴具有进气端口和喷气端口，进气端口用于通入吹扫气体，喷气端口用于喷出吹扫气体。由于吹扫气体可阻挡显影液提前扩散到显影喷嘴前方，在显影较厚的光刻胶时，可适当降低显影喷嘴的移动速度，以解决底部的光刻胶显影不充分导致的显影不足与不完全显影问题，而不用增加显影喷涂次数，因此可显著缩短显影工艺时间，提高半导体制造的工作效率。

天眼查资料显示，深圳市章阁仪器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市章阁仪器有限公司参与招投标项目26次，专利信息2条，此外企业还拥有行政许可128个。

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